8吋自動化
|
解決方式說明 |
||||||||||
當晶圓生產機台生產完後,需等待操作人員手動搬離,並放置新的晶圓,方能繼續下批生產,如此將造成生產效率的降低,無法有效運用人力資源,且人工搬運易造成晶圓表面破損,導致機台生產力的良率下降。 |
8吋晶圓盒自動傳輸界面(CR-ITS)目的為在製程設備之前端提供自動進出晶圓盒(POD)之服務,一旦機台製程製作完畢將會自動將晶圓盒上下料,並傳送至貨架,提供高架式輸送車(OHT)可自動化取放晶圓盒,達到晶圓盒快速交換及傳輸之目的,以減少生產機台等待搬運的時間,並活化高架式輸送車(OHT)的效益,提升生產效率。 |
||||||||||
|
|
||||||||||
原先機台與操作人員比例為1:3,意即一個操作人員對應3台機台,透過本產品應用並配合高架式輸送車(OHT),比例可以增加至1:20,且生產間隔可減少至50sec。 |
該產品搭配高架式輸送車(OHT)可有效減少現場操作人員之取放時間壓力,最佳化人員及高架式輸送車(OHT)所搭配機台數量,人機比例可以增加至1:20,人事費用可節省高達80%,終而達成8吋晶圓廠全自動化生產及傳輸之目的。 |
|
|||||
當晶圓生產機台生產完後,需等待操作人員手動搬離,並放置新的晶圓,方能繼續下批生產,如此將造成生產效率的降低,無法有效運用人力資源,且人工搬運易造成晶圓表面破損,導致機台生產力的良率下降。 |
|||||
|
|||||
8吋晶圓盒自動傳輸界面(CR-ITS)目的為在製程設備之前端提供自動進出晶圓盒(POD)之服務,一旦機台製程製作完畢將會自動將晶圓盒上下料,並傳送至貨架,提供高架式輸送車(OHT)可自動化取放晶圓盒,達到晶圓盒快速交換及傳輸之目的,以減少生產機台等待搬運的時間,並活化高架式輸送車(OHT)的效益,提升的生產效率。 |
|||||
|
|||||
原先機台與操作人員比例為1:3,意即一個操作人員對應3台機台,透過本產品應用並配合高架式輸送車(OHT),比例可以增加至1:20,且生產間隔可減少至50sec。 |
|||||
|
|||||
該產品搭配高架式輸送車(OHT)可有效減少現場操作人員之取放時間壓力,最佳化人員及高架式輸送車(OHT)所搭配機台數量,人機比例可以增加至1:20,人事費用可節省高達80%,終而達成8吋晶圓廠全自動化生產及傳輸之目的。 |