解決方式說明

當晶圓生產機台生產完後，需等待操作人員手動搬離，並放置新的晶圓，方能繼續下批生產，如此將造成生產效率的降低，無法有效運用人力資源，且人工搬運易造成晶圓表面破損，導致機台生產力的良率下降。

8吋晶圓盒自動傳輸界面(CR-ITS)目的為在製程設備之前端提供自動進出晶圓盒(POD)之服務，一旦機台製程製作完畢將會自動將晶圓盒上下料，並傳送至貨架，提供高架式輸送車（OHT）可自動化取放晶圓盒，達到晶圓盒快速交換及傳輸之目的，以減少生產機台等待搬運的時間，並活化高架式輸送車（OHT）的效益，提升生產效率。

原先機台與操作人員比例為1:3，意即一個操作人員對應3台機台，透過本產品應用並配合高架式輸送車（OHT），比例可以增加至1:20，且生產間隔可減少至50sec。

該產品搭配高架式輸送車（OHT）可有效減少現場操作人員之取放時間壓力，最佳化人員及高架式輸送車（OHT）所搭配機台數量，人機比例可以增加至1:20，人事費用可節省高達80%，終而達成8吋晶圓廠全自動化生產及傳輸之目的。