自動化物流搬運倉儲系統規劃，為製程設

備前端提供自動進出晶圓盒(POD)之服務

自動將晶圓盒上下料傳送至貨架，藉由OHT

快速取放達到晶圓盒快速交換及傳輸目的

減少生產機台等待搬運的時間，並從上位

半導體設備通訊標準SECS、馬達自動控制

軟體、與人機介面等，全方面的軟硬體整

合來提升生產效率。