光罩自動得來速
傳統光罩搬運作業是利用人力進行搬運,產能較低 且光罩耗損高。啟賦研發6吋光罩自動化搬運機台 能自動存取搬運,減少人力消耗,提高晶圓生產效率 並大幅縮短產品生產週期,如以黃光製程為例; 原本需1.5工作天/層,可縮短至1.0工作天/層。
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傳統光罩搬運作業是利用人力進行搬運,產能
較低,且光罩耗損高。啟賦研發6吋光罩自動
化搬運機台能自動存取搬運,減少人力消耗
提高晶圓生產效率並大幅縮短產品生產週期
如以黃光製程為例;原本需1.5工作天/層
可縮短至1.0工作天/層。