12''/ 8''/6'' 自動倉儲設備

針對晶圓、光罩及特殊載具的自動化儲存需求,提供不同尺寸、容量與配置的倉儲設備,滿足產線空間與製程需求。

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12''/ 8''/光罩 暫存緩衝設備

設置於製程設備附近,提供晶圓與光罩載具的暫存、緩衝與交換,支援不同製程站點的物料銜接。

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傳輸介面設備

針對設備與設備之間的載具傳送需求,提供自動化傳輸介面,協助晶圓載具於不同製程設備間進行轉移。

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晶圓/光罩交換及分揀設備

提供晶圓、光罩及載具的自動交換與分揀功能,依製程需求完成物料辨識、交換與分類作業。

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庫房倉儲系統

整合儲位、搬運與倉儲管理,建構自動化庫房與物料存取系統,支援不同規模及配置需求。

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