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  2. 12''/ 8''/6'' 自動倉儲設備

12''/ 8''/6'' 自動倉儲設備

12''/ 8''/6'' 自動倉儲設備

自動化倉儲設備(Automated Storage Equipment):適用於 300mm、200mm 及 150mm 晶圓廠,專為 FOUP 及光罩存取設計,並可與天車(OHT)、無人搬運車(AGV)及 Host/MES 系統對接。

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啟賦 CHIFF CR300SK-STD 12 吋(300 mm)晶圓自動倉儲設備
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CR300SK-STD

12" 晶圓自動倉儲

啟賦 CHIFF CR200SK-STD 8 吋(200 mm)晶圓自動倉儲設備
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CR200SK-STD

8" 晶圓自動倉儲

啟賦 CHIFF CR150SK-STD 6 吋(150 mm)晶圓自動倉儲設備
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CR150SK-STD

6" 晶圓自動倉儲

啟賦 CHIFF CR-ZSK ZIP Stocker 小型彈性自動倉儲設備
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CR-ZSK

小型彈性自動倉儲

啟賦彈性組合自動倉儲
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CR-ASF + Auto Robot

彈性組合自動倉儲

啟賦 CHIFF CR-PSK 探針卡載具自動倉儲設備
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CR-PSK

探針自動倉儲

啟賦 CHIFF CR-STK 穿樓層自動倉儲設備
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CR-STK

穿樓層自動倉儲

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