12''/ 8''/6'' 自動倉儲設備
自動化倉儲設備(Automated Storage Equipment):適用於 300mm、200mm 及 150mm 晶圓廠,專為 FOUP 及光罩存取設計,並可與天車(OHT)、無人搬運車(AGV)及 Host/MES 系統對接。
CR300SK-STD
CR200SK-STD
CR150SK-STD
CR-ZSK
CR-ASF + Auto Robot
CR-PSK
CR-STK