12''/ 8''/光罩暫存緩衝設備

12''/ 8''/晶圓光罩暫存緩衝設備

涵蓋機旁緩衝站（Near-Tool Buffer）與載具交換機（Carrier Exchanger），專為 150mm、200mm 及 300mm 晶圓廠設計，能無縫整合 OHT、AGV 及 Host/MES 系統，在製程機台旁實現 FOUP 與光罩的高效暫存、流轉緩衝與自動對接交換，大幅降低機台待料時間並最佳化產線節拍。