生產力提升解決方案
突破OHT 供料與機台製程間的限制,藉由近端智能暫存與自動交換全面取代人工搬運,解決機台待料並極大化產線稼動率。
暫存緩衝NTB
ITS / 2nd Load Port
Carrier Transfer / Active Rack
光罩暫存交換機
晶圓分揀機
客製化設計