產品

半導體晶圓光罩載具傳輸、緩衝及儲存設備

CHiFF 專為 300mm（12 吋）、200mm（8 吋）及 150mm（6 吋）半導體晶圓廠設計與製造近機台緩衝站（Near-Tool Buffer）、載具交換機（Carrier Exchanger）以及自動化儲存設備，可精準對接空中天行車（OHT）、無人搬運車（AGV）與主機/製造執行系統（Host/MES），妥善處理晶圓傳送盒（FOUP）與光罩搬運需求。

啟賦 CHIFF 半導體晶圓自動倉儲設備，配置載具儲存區與自動裝載站

12''/ 8''/6'' 自動倉儲設備

針對晶圓、光罩及特殊載具的自動化儲存需求，提供不同尺寸、容量與配置的倉儲設備，滿足產線空間與製程需求。

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啟賦 CHIFF 晶圓與光罩暫存緩衝設備

12''/ 8''/光罩暫存緩衝設備

設置於製程設備附近，提供晶圓與光罩載具的暫存、緩衝與交換，支援不同製程站點的物料銜接。

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啟賦 CHIFF 二次傳送介面系統

傳輸介面設備

針對設備與設備之間的載具傳送需求，提供自動化傳輸介面，協助晶圓載具於不同製程設備間進行轉移。

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啟賦 CHIFF 晶圓與光罩交換及分揀設備

晶圓/光罩交換及分揀設備

提供晶圓、光罩及載具的自動交換與分揀功能，依製程需求完成物料辨識、交換與分類作業。

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啟賦 CHIFF ASRS 庫房自動化倉儲系統俯視圖，呈現多排儲存區與傳輸輸送帶

庫房倉儲系統

整合儲位、搬運與倉儲管理，建構自動化庫房與物料存取系統，支援不同規模及配置需求。

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CHIFF Technology 提供智慧資材存儲、工廠自動化與系統整合解決方案，專為先進製造業服務。

744003台南市新市區潭頂588號
06-5858189
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741012台南市善化區成功路1-6號
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