上下料模式與系統整合
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支援 PGV(人工)、AGV、OHT 等多種上下料模式
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對應 OHT/OHS 系統,實現完美上下料整合
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支援 SECS/GEM、MES、MCS 整合,軟體可無縫連接不同廠區的上端系統,支援多種通訊協議,確保資料一致性與即時交換
潔淨度環境適應
滿足各種潔淨度之要求,最高符合 Class 1 等級,適合高潔淨度製程環境
載具機型分級
系列內依載具類型分為晶圓、光罩盒或其他特殊載具等機型