自動化上下料與系統整合
- 支援 PGV(人工)、AGV、OHT 等多種上下料模式。
- 對應 OHT/OHS 系統,實現完美上下料整合。
- 軟體可無縫連接不同廠區的上端系統,支援多種通訊協議,確保資料一致性與即時交換。
高標準潔淨度環境適應
滿足各種潔淨度之要求,最高符合 Class 1 等級,適合高潔淨度製程環境
多樣化機型與儲存空間配置
- 載具類型: 依載具類型分為晶圓、光罩盒或其他特殊載具等機型。
- 空間類型: 依空間類型如小型彈性倉儲(Zip Stocker)、多功能自動倉儲(Funtions Stocker)等機型。