快速安裝與高效維運
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搭載快拆定位腳座與訊號快速接頭設計,大幅提升設備的移動與復歸效率。
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支援快速拆裝與模組化應用,降低維護工時與成本。
高彈性配置與客製化能力
- 高彈性配置與客製化能力Buffer Port 數量彈性調整:
2-Port 配置:適用於單一製程機台對接場景,OHT 端接收後經 Buffer 轉傳至機台
3-Port 配置:適用於多段製程機台並排或產線節拍較快的場景
4-Port 配置:適用於高吞吐量之設備應用,增加 Buffer 容量以緩衝等候載具 - 手臂與模組彈性: 手臂行程與載重能力可客製化配置,且支援多樣製程機台整合,透過模組化設計提升轉換彈性
高機台相容性與自動化對接
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相容機台廣泛,整合性高,滿足前/中段製程的自動化對接需求。
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支援對接機台包含:爐管設備、酸槽(Wet Bench)、Surfscan 檢測設備、Aligner 曝光機、Scrubber 清洗設備。