Solution Detail 1

自動化產線搬運效率,問題出在這幾點

以下是半導體廠在既有設備與自動化系統銜接時,最常遇到的實際卡關點,也是啟賦規劃傳輸與交換設備時,優先要解決的問題。

設備介接緩衝不足
解決各式尺寸晶圓廠區既有製程設備與 OHT 系統之間速率緩衝之問題。
機台利用率偏低
提升產線整體轉傳效率與機台利用率問題。
廠房空間受限
優化廠域內有限空間,須大幅度改變設備配置之問題。
跨製程相容性難整合
於不同製程區段或使用不同設備之間相容性問題。

近機台物料緩衝區,如何對應這些需求?

獨立緩衝機制,極致化產線運轉

吸收等待時間:於機台前端建立緩衝節點,讓 OHT系統先將載體卸至暫存區,再經由 Load Port 依設備製程節奏送入,擺脫 OHT系統 與設備速度綁定之限制

 

Solution Item Demo 1

數據雙向連線,實現智慧精準派工

即時狀態可視化:透過 SECS/GEM 與 Host/MCS 系統雙向連線,即時回報暫存量與設備狀態,因此上位系統能基於即時數據進行精準派工

Solution Item Demo 2

彈性模組部署,無縫銜接既有架構

客製化漸進導入:能高度適應現場空間與現況AMHS架構,不論是單一設備之測試,或是全產線的完整規劃,皆能進行彈性調整與部署等機型。

Solution Item Demo 3

導入效益

01
縮短設備待機時間,提升設備使用效率
02
提升OHT系統排程更有彈性
03
降低載具碰損風險
04
透過 Host/MCS 連線完成更即時掌握晶舟盒的位置與機台狀態,有助於後續的產能分析與調度決策