光罩暫存交換機

光罩暫存交換

本系列為光罩相關產品之暫存架與移載設備，應用解決於有限空間內廠域之移載及暫存之問題，已導入多座 8 吋晶圓廠域，主要標的為舊廠域升級與智慧製造轉型之理想解決方案

自動化產線搬運效率，問題出在這幾點

以下是半導體廠在既有設備與自動化系統銜接時，最常遇到的實際卡關點，也是啟賦規劃傳輸與交換設備時，優先要解決的問題。

設備介接緩衝不足

8 吋晶圓廠既有製程設備無法直接與 OHT 系統對接，依賴人工搬運晶圓載具。

機台利用率偏低

人工搬運頻率高、等候時間長，影響產線整體轉傳效率與機台利用率。

移機復歸耗時

設備維護或移機時，傳統固定式安裝導致復歸時間長、停機工時高。

廠房空間受限

既有廠房於有限空間，須大幅度改變設備配置。

跨製程相容性難整合

於不同製程區段或使用不同設備之間相容性問題。

提升機台利用率，減少因等候載具造成的閒置

大幅減少人工搬運次數與等候時間，連帶減少載具碰損風險

提升產線轉傳效率與整體系統可靠性

解決製程站之間的自動搬運與暫存問題，提升產能效率

CHIFF Technology 提供智慧資材存儲、工廠自動化與系統整合解決方案，專為先進製造業服務。