・搭載快拆定位腳座與訊號快速接頭設計,提升設備的移動與復歸效率
・具備快速拆裝與模組化設計,降低維護工時與成本
・暫存埠數量可自由客製,提供不同場地與製程的緩衝需求
・機械手臂之行程與載重,具備客製化之配置
・支援整合各式製程機台,以模組化設計提升轉換彈性
爐管機台
酸槽設備製程
Surfscan 檢測機台
Aligner 曝光機
Scrubber 清洗機台
快拆腳座與訊號接頭快速維運
客製化暫存埠與臂體行程配置
廣泛兼容半導體前中段製程設備