啟賦 CHIFF CR-ITS 8 吋晶圓載具二次傳送系統

8" Interface Transfer Station / 2nd Load Port

二次傳送系統

型號
  • CR-ITS

8吋

半導體

晶圓

晶圓製程

自動化

智能

智慧

轉傳

移載

轉載

傳輸

本產品獨家首創無縫銜接 OHT 系統之模組化轉傳介面,專門為半導體前/中段各式製程設備提供彈性對接與暫存緩衝之用途;不僅有效消除人工搬運與等候時間、提升產線切換彈性,更具備快拆模組設計大幅縮短維護工時,全面加速自動化物流整合,提升產線運轉效率與物流穩定性。

產品主要功能

01

快速安裝與高效維運

・搭載快拆定位腳座與訊號快速接頭設計,提升設備的移動與復歸效率
・具備快速拆裝與模組化設計,降低維護工時與成本

02

彈性化之配置,滿足各式製程需求

・暫存埠數量可自由客製,提供不同場地與製程的緩衝需求
・機械手臂之行程與載重,具備客製化之配置
・支援整合各式製程機台,以模組化設計提升轉換彈性

03

設備兼容性廣,提供前/中段製程之自動化對接要求

爐管機台
酸槽設備製程
Surfscan 檢測機台
Aligner 曝光機
Scrubber 清洗機台

cr its 2

產品特色

cr its 3
  • 快拆腳座與訊號接頭快速維運

  • 客製化暫存埠與臂體行程配置

  • 廣泛兼容半導體前中段製程設備

適用解決方案

生產力提升解決方案
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