本產品專為 8 吋半導體晶圓廠設計之近機台暫存與移載設備，具備高彈性模組化架構，對應銜接既有之 AMHS 系統。支援 OHT/OHS 載入／載出與全自動 Load Port 傳輸，無縫將晶圓載具送達設備工作區，有效消除人工搬運與機台等待時間，極致化整體生產效率。
支援多種製程機台接口與通訊協議，快速整合不同設備，提升製程之物流自動化系統效率
依客製廠域提供最佳配置，最大化物流效率，並有效減少機台閒置時間，進而提升整體製程設備利用率
對應OHT/OHS 系統，自動化上/下料流程，減少人力需求及物流瓶頸
垂直式結構節省地面空間，適合部署於空間受限之製程廠域
達到嚴格的Class 1無塵室標準，適合高潔淨度製程需求
完美兼容各式製程機台
減少閒置提升機台利用率
自動化 OHT/OHS 上下料
垂直結構空間利用最佳化
高潔淨等級
CHIFF Technology 提供智慧資材存儲、工廠自動化與系統整合解決方案，專為先進製造業服務。
