啟賦 CHIFF CR150D-EBO 光罩載具暫存交換機

Reticle Carrier Transfer

光罩暫存交換機

型號
  • CR150D-EBO

半導體

晶圓

晶圓製程

無塵室

光罩

自動化

智能

智慧

轉傳

移載

轉載

暫存

傳輸

本產品已導入多座 8 吋晶圓廠域,主要標的舊廠域升級與智慧製造轉型之理想解決方案,為全時運轉的效率革新者

產品主要功能

01

無縫銜接製程設備

搭配生產排程,自動對接製程設備,大幅降低人工操作介入與流程等待時間

02

大幅縮短人員操作頻率

原本需每小時手動取/放貨,一次放入 6 批貨物,實現操作間隔拉長至 6 小時,顯著減少人力投入與操作壓力

03

機台一體成型、占地空間小

精巧整合設計,機身一體成型,特別適用於空間有限的無塵室與既有產線改造

04

雙拉抽屜式設計

採用雙拉抽式上下貨結構,優化人員作業動線與空間使用效率

05

全密式皮帶傳動滑台

採用密封式結構的皮帶驅動滑台,不僅滑動穩定、噪音低,亦易於日常維護與清潔保養,延長設備壽命

06

支援批次作業與高效率生產

能一次處理多批載具,提高整體製程節拍與產能效率,支援 24/7 自動化運轉需求

cr150d ebo 2

產品特色

cr150d ebo 3
  • 自動對接製程設備

  • 多批次儲存減少人力介入

  • 一體成型極小佔地設計

  • 雙拉抽屜式作業動線

  • 全密式皮帶滑台穩定低噪

  • 支援批次作業與全時運轉

適用解決方案

生產力提升解決方案
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