啟賦 CHIFF ATV-BF Active Rack 8 吋晶圓載具暫存交換機

8" Active Rack

8" 晶圓暫存交換機

型號
  • ATV-BF

8吋

半導體

晶圓

晶圓製程

封裝

無塵室

自動化

智能

智慧

轉傳

移載

轉載

暫存

傳輸

本產品特色為超薄型暫存架,已導入多座 8 吋晶圓廠域,主要標的舊廠域升級與智慧製造轉型之理想解決方案

產品主要功能

01

智慧對接系統,全面提升效率

支援 POD 自動上下貨作業,並可與 OHT 系統實現即時銜接,大幅優化搬運效率與人機協作流程

02

具備倉儲與支援站點間傳送

具小型倉儲能力,可彈性應用於製程站與站間的自動搬運,降低機台閒置、縮短等待時間

03

薄型化設計,可靈活適配無塵室空間

採用超薄型結構,適用於走道、牆面或機台之間的狹小空間,最大化無塵室坪效利用

04

高度模組化,配置彈性強

儲位數量與配置可依據不同產線需求彈性擴充、快速調整,提升系統靈活度與擴展性

05

多機型支援,場域適應力強

現有支援配置:除PGV、AGV,可另依廠域搬運需求選擇對應版本

atv bf 2

產品特色

atv bf 3
  • 智慧對接與 OHT 即時銜接

  • 站間傳送與小型暫存

  • 超薄型高坪效空間設計

  • 高度模組化彈性擴充

  • 多元搬運機型適配

適用解決方案

生產力提升解決方案
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