chiff pod exchanger 200mm wafer carrier transfer

8" Carrier Transfer

8" 晶圓暫存交換機

型號
  • Pod Exchanger

8吋

半導體

晶圓

晶圓製程

封裝

無塵室

自動化

智能

智慧

轉傳

移載

轉載

暫存

傳輸

本產品特色係具有一機三模組,已導入多座 8 吋晶圓廠域,主要標的舊廠域升級與智慧製造轉型之理想解決方案

產品主要功能

01

模組化設計整合多種設備系統

三大模組構成:Rack、Robot、Gantry,依不同製程條件組合最適模組,提升整體擴充性與彈性適配

02

Robot Z 軸升降模組技術

自主開發模組,具備自動水平校正與穩定補償機制,有效提升昇降之平穩度與精度

03

Robot夾爪模組輕量化設計

・採用3D列印技術打造,實現結構輕量化與減震設計
・降低零組件負載、延長模組壽命、提升系統穩定性

04

雙軸 XZ 儲位模組,穩定準確

・採用全密式滑台組成 X、Z 軸導向平台,搭配低慣量設計
・穩定性高,運行平順,定位精準
・保養方式簡易,維護便利度高

05

提升產能與使用效率

・有效降低機台閒置時間,減少等待人工搬運的人力成本
・提升整體人機比,達到智慧工廠所需之自動化生產目標
・減少晶片搬運錯誤與破片機率,提高良率

pod exchanger 2

產品特色

pod exchanger 3
  • 一機三模組彈性組合

  • Z 軸自動校正與穩定補償

  • 3D 列印輕量化減震夾爪

  • 全密式雙軸精準定位滑台

  • 降低閒置與破片風險提升產能

適用解決方案

生產力提升解決方案
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