chiff repodex reticle pod exchanger v2

Reticle Carrier Transfer

光罩暫存交換機

型號
  • RePodex

半導體

晶圓

晶圓製程

無塵室

光罩

自動化

智能

智慧

轉傳

移載

轉載

暫存

傳輸

本產品已導入多座 8 吋晶圓廠域,主要標的舊廠域升級與智慧製造轉型之理想解決方案

產品主要功能

01

符合市場需求,提升生產效率

解決傳統人力搬運光罩耗時且易損的問題,有效提升製程連貫性與產能

02

薄型化設計,兼具運輸與升降功能

・超薄型設計,空間佔用極小,且同時整合 conveyor與 elevator功能
・移載過程穩定平順,有效提升自動化搬運效率

03

模組化設計,靈活整合多站點需求

・機構採倍行程設計,於所需之行程條件下同時壓縮機台體積
・具備快速固定輪設計,可依製程需求快速移動與定位
・支援不同製程段之自動搬運系統整合,擴充彈性高、應用場景廣泛

repodex 2

產品特色

repodex 3
  • 取代人力提升產能與安全性

  • 超薄型整合輸送升降

  • 倍行程設計快速定位

適用解決方案

生產力提升解決方案
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