解決傳統人力搬運光罩耗時且易損的問題,有效提升製程連貫性與產能
・超薄型設計,空間佔用極小,且同時整合 conveyor與 elevator功能
・移載過程穩定平順,有效提升自動化搬運效率
・機構採倍行程設計,於所需之行程條件下同時壓縮機台體積
・具備快速固定輪設計,可依製程需求快速移動與定位
・支援不同製程段之自動搬運系統整合,擴充彈性高、應用場景廣泛
取代人力提升產能與安全性
超薄型整合輸送升降
倍行程設計快速定位