本產品為滿足半導體6吋晶圓製造各階段之儲存與移載設備，除具備彈性模組化之架構，完美連接既有之 AMHS 系統外；同時具備支援 OHT系統載入／載出傳輸，有效解決空間利用率及人工搬運等問題，達成極致化生產效率目的
依據不同客戶及環境需求，適配於6吋晶圓製程，量身打造最佳化廠區之存儲方案，於有限空間內設計儲位，充分利用空間，實現儲存容量的最大化
具備Stocker與Conveyor結構模組化，便於拆裝維修
搭載In Port與Out Port設備，支持連續流暢的物料輸送，提升物流效率
Buffer Port皆配有XCDA充氣孔，持續吹氣防止粉塵，保持光罩盒內部潔淨度，提升產品良率與設備穩定性
支援多種光罩盒載具，靈活適配不同尺寸與類型的光罩盒，具備系統強大兼容性
儲位最大化
模組化與便利維護
雙端口 ACV 輸送系統
XCDA 防塵充氣系統
多樣化載具適配性
CHIFF Technology 提供智慧資材存儲、工廠自動化與系統整合解決方案，專為先進製造業服務。
